氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦气作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦质谱检漏仪以氦气为示漏气体，采用一体化工业设计，低噪声、低振动，设备坚实牢固； 性能可靠，操作简便，造型美观，售后服务周到；自保护功能，防止本底被污染； 检漏效率高,带故障提示和报警功能。
目前氦质谱检漏仪在多种领域进行了广泛的应用，均以氦气为示漏气体来检测工件设备，为什么要用氦气检测呢？相比其它气体而言，氦气具有以下优点：
(1)对人体和自然环境没有毒害；
(2)不能燃烧，作业安全；
(3)惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；
(4)分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；
(5)通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；
(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；
(7)氦气在空气中的含量甚微，容易定点查清漏气位置。
氦气具有以上优点，名副其实成为氦质谱检漏仪示漏气体的较佳选择！
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